Fornecedor de fábrica de alvos de pulverização catódica de alta pureza 99,8% de titânio grau 7, alvo de liga de titânio para revestimento
Parâmetros do produto
Nome do produto | Alvo de titânio para máquina de revestimento PVD |
Nota | Titânio (Gr1, Gr2, Gr5, Gr7, GR12)Alvo de liga: Ti-Al, Ti-Cr, Ti-Zr etc. |
Origem | Cidade de Baoji, província de Shaanxi, China |
Teor de titânio | ≥99,5 (%) |
Conteúdo de impurezas | <0,02 (%) |
Densidade | 4,51 ou 4,50 g/cm3 |
Padrão | ASTM B381; ASTM F67, ASTM F136 |
Tamanho | 1. Alvo redondo: Ø30--2000mm, espessura 3,0mm--300mm;2. Tarja da placa: Comprimento: 200-500 mm Largura: 100-230 mm Espessura: 3--40 mm;3. Alvo do tubo: Diâm.: 30-200 mm Espessura: 5-20 mm Comprimento: 500-2000 mm;4. Personalizado está disponível |
Técnica | Forjado e usinado em CNC |
Aplicativo | Separação de semicondutores, Materiais de revestimento de filme, Revestimento de eletrodo de armazenamento, Revestimento por pulverização catódica, Revestimento de superfície, Indústria de revestimento de vidro. |
Requisitos químicos do alvo de titânio
ASTM B265 | GB/T 3620.1 | JIS H4600 | Conteúdo elementar (≤% em peso) | ||||||
N | C | H | Fe | O | Outros | ||||
Titânio Puro | Gr.1 | TA1 | Classe 1 | 0,03 | 0,08 | 0,015 | 0,20 | 0,18 | / |
Gr.2 | TA2 | Classe 2 | 0,03 | 0,08 | 0,015 | 0,30 | 0,25 | / | |
TitânioLiga | Gr.5 | TC4Ti-6Al-4V | Classe 60 | 0,05 | 0,08 | 0,015 | 0,40 | 0,2 | Al:5,5-6,75 V:3,5-4,5 |
Gr.7 | TA9 | Classe 12 | 0,03 | 0,08 | 0,015 | 0,30 | 0,25 | Pd:0,12-0,25 | |
Gr.12 | TA10 | Classe 60E | 0,03 | 0,08 | 0,015 | 0,30 | 0,25 | Mês:0,2-0,4 Ni:0,6-0,9 |
Propriedades mecânicas longitudinais à temperatura ambiente
Nota | Resistência à tracçãoRm/MPa(>=) | Limite de escoamentoRp0,2(MPa) | AlongamentoA4D(%) | Redução de áreaZ(%) |
Gr1 | 240 | 140 | 24 | 30 |
Gr2 | 400 | 275 | 20 | 30 |
Gr5 | 895 | 825 | 10 | 25 |
Gr7 | 370 | 250 | 20 | 25 |
Gr12 | 485 | 345 | 18 | 25 |
Alvos de pulverização catódica de titânio
Tamanho comum do alvo de pulverização catódica de titânio: Φ100*40, Φ98*40, Φ95*45, Φ90*40, Φ85*35, Φ65*40 etc.
Também pode ser personalizado de acordo com solicitações ou desenhos do cliente
Requisitos do alvo: alta pureza, grãos de cristal uniformes e boa compactação.
Pureza: 99,5%, 99,95%, 99,98%, 99,995%.
Processo de produção de alvos de titânio
esponja de titânio --- fundido em lingote de titânio --- teste---corte do lingote --- forjamento --- laminação --- descascamento --- endireitamento---detecção ultrassônica de falhas --- embalagem
Características do alvo de titânio
1. Baixa densidade e alta resistência de especificação
2. Excelente resistência à corrosão
3. Boa resistência ao efeito do calor
4. Excelente aderência à propriedade criogênica
5. Não magnético e não tóxico
6. Boas propriedades térmicas
7. Baixo módulo de elasticidade